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徐州博康:解锁光刻胶全产业链 打造国产替代领军品牌

发布日期:2022-07-27 19:08    点击次数:182

  在国产光刻胶这条赛道上,徐州博康已实现了“单体——树脂、光酸——光刻胶”产业链全覆盖。在过去的十余年中,徐州博康已完成了中高端半导体光刻胶材料产品的国际化销售,并凭借在光刻胶单体的领先优势,逐步建立起了全面自主可控的光刻胶供应链。

  日前,徐州博康董事长傅志伟向证券时报·e公司记者表示,光刻胶的制备是高度精细化控制的工艺,公司着力于打通全产业链各个环节,从原材料向上突破半导体光刻胶,目前进展顺利;今年公司重点在于推进客户导入,努力实现公司高端光刻胶产品在12寸晶圆厂客户端的突破与放量。未来公司将联合中科院等科研院所,布置前瞻性、先导性光刻胶材料新分支。

  (图中为徐州博康董事长傅志伟   供图:徐州博康)

  打通光刻胶全产业链  发力高端Arf与Krf光刻胶

  随着晶圆厂掀起扩产潮,光刻胶市场空间有望进一步释放。虽然光刻胶叠加相关配套材料在半导体材料占比不到10%,却起着“四两拨千斤”的作用,直接影响芯片的良率,而单体是光刻胶曝光显影功能的原始载体,就像搭建乐高的积木零件,直接决定着光刻胶的性能,成本占比高达60-80%。

  “单体是从特殊小分子的提纯而来,对杂质洁净度要求是光刻胶的10倍以上。”傅志伟介绍。徐州博康前身上海博康从2005年开始研发单体,并掌握了单体提纯的先进工艺,能够把单体的金属离子杂质含量控制在1ppb以下。通过7年不懈努力,徐州博康于2012年成为了国际光刻胶巨头JSR(日本合成橡胶公司)唯一非日本本土的单体供应商,目前覆盖80%以上的单体品种。

  基于对单体制备工艺的娴熟掌握,徐州博康对光刻胶制备各个环节逐一攻克,承担起国家“02专项”中的“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”的子课题,并得到成功验收。如今公司已开发出数十种高端光刻胶产品系列,包括193nmArF湿法光刻胶、ArF干法光刻胶,248nmKrF正负型光刻胶、KrF厚膜光刻胶、365nmi线光刻胶以及电子束胶等,覆盖IC集成电路制造、IC后端封装、化合物半导体等市场应用领域。

  目前国内用于6英寸晶圆制造的g线、i线光刻胶基本可以满足自给,而用于8英寸、12英寸晶圆的高端KrF、ArF光刻胶则高度依赖进口,这也是徐州博康正在积极布局的方向。傅志伟介绍,光刻胶从单体提纯、树脂提纯到配胶等工艺环节,是个高度精细化控制的过程,环环相扣,“海外厂商通常都是五六个厂商高度分工,环节是互相独立的,之间还有‘know - how’隔断;而博康做的是打通各个环节的‘know-how’。”

  2021年,徐州博康开始在半导体光刻胶领域全面发力,全年光刻胶收入同比增长177%,产品立项44款,其中九成产品针对12寸晶圆厂客户的需求定制开发。其中,应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶,已经能够应用至40nm/28nm工艺节点,是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶,还有4款ArF胶正在客户端进行导入测试;K胶产品中有一款金属剥离负胶,主要针对lift-off工艺,底部倒角可控,博康是目前国内唯一可提供此类KrF产品的公司,还有8款KrF胶正导入测试;同时,公司还自主研发成功了超厚膜光刻胶(10-15um),完成了内部的测试验证。目前公司的研发人员也在迅速扩充,预计到今年底将近200人。

  (光刻胶样品展示  供图:徐州博康)

  加速产品验证与导入  实现12寸客户0到1的突破

  去年是徐州博康光刻产品技术与工艺不断突破的一年,今年则是博康加速客户端光刻胶产品验证与导入的关键之年。

  “2021年,博康已经实现约2000万元光刻胶销售,主要以KrF光刻胶为主,ArF光刻胶占小部分,今年有把握实现销售上一个大台阶。”傅志伟表示,今年公司的重点在于加速客户端验证和导入,计划每家12寸大厂至少导入3-5个品种,年内实现约30种产品验收以及10类以上品种生产,部分产品实现量产采购,未来三年计划覆盖所有国产半导体光刻胶品种。

  同时,为了保障下游客户的稳定供应,徐州博康新产线逐步投产,并向大厂客户外派驻场光刻胶工程师。资料显示,邳州新工厂规划1100吨光刻材料产能,其中光刻胶的产能有3.5万-4.5万加仑,预计新工厂完全达产后产值20亿元,其中光刻胶单体10-12亿元、光刻胶4-5亿元。

  傅志伟介绍,考虑全产业链布局,光刻胶从建设到投产周期需要2-3年。邳州新厂从2021年下半年开始试产,今年1月份正式拿到正式生产许可,产能持续爬坡。虽然今年新冠疫情反复下,物流原材料运输受阻,新工厂6月产值已经达到5000万元,7月预计7000多万元,预计下半年单月销售将过亿元;保守估计,明年新工厂产值将突破10亿元,整体工厂达到满产状态。

  徐州博康的发展也吸引了产业资本竞相追逐。工商信息显示,去年8月,华为通过旗下投资公司哈勃科技成为徐州博康第四大股东,持股9.8%。据媒体报道,哈勃投资金额达3亿元,系其布局半导体材料领域中最大的一单笔投资。

  光刻胶也是上市公司华懋科技打造的第二增长极。去年,华懋科技通过行使借款转股以及追加投资,合计投资8亿元持有徐州博康26.21%股权;另外,华懋科技子公司与徐州博康等共同成立东阳华芯,规划在浙江省东阳市建设年产8000吨中高端半导体光刻材料工厂,年产值将超20亿元。7月18日,华懋科技董事会已审议通过该联营企业项目。据测算,项目达产后年产品销售收入为21.66亿元(不含增值税),年均净利润为3.41亿元,投资回收期(静态)为6.97年(含建设期),财务内部税后收益率将达到16.35%。

  从厂区定位来看,东阳工厂产品销售定位以光刻胶、光刻胶树脂及辅助材料为主,应用在逻辑芯片及封装领域;徐州博康邳州新工厂目前产品产能以光刻胶单体、光刻胶、医药中间体为主,主要应用在存储芯片和封装领域,两厂主要产品各有侧重,互相补充。

  (徐州博康邳州工厂  供图:徐州博康)

  产能扩张 加速光刻胶国产化进程

  “邳州工厂的产能是不够的,浙江东阳工厂还在设计阶段,目前推进顺利。”傅志伟表示,除了现有工厂要稳扎稳打之外,公司还计划在华北地区、华中地区和华南地区设厂,未来产能将扩大至少五倍,博康将根据扩产规划有针对性的借力资本市场融资,加速推进光刻胶的国产化进程。

  不过,近期二级市场半导体板块降温,估值回调,甚至出现一级二级市场估值倒挂的现象。对此,傅志伟表示半导体行业估值正在“挤泡沫”,一定程度上影响了产业投资信心,但他仍然保持乐观,“当前半导体产业国产化率还处于很低的水平,还是要保持耐心,好在有些产业界的投资人还是比较清醒的。”

  凭借对光刻工艺的掌握,傅志伟也布局了与光刻胶息息相关的设备领域。傅志伟实际控制的另一家公司影速集成,与中科院微电所合作已实现半导体激光直写光刻机、高端PCB用LDI设备等领域的产业化,拥有全球最高产能的双台面激光直接成像设备,系中国唯一能够制造“半导体纳米级制版曝光设备”的企业,并有计划登陆资本市场。

  傅志伟向记者表示,光刻工艺调试需要光刻胶和设备的协同,还可以布局像3D打印等前沿光固化工艺,未来公司还将与中科院等科研院所合作,前瞻性布局光刻胶赛道的新分支。